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鑽石爭霸戰〈三〉─鑽石碟的台美大戰
1969年人類首次脫離地球踏步月球,這是科技進步劃時代的里程碑。在材料學的領域裡,1953年瑞典的ASEA在超高壓下合成出原始的工業鑽石可比擬人類登月的壯舉。1970年代美國的General Electric開始生長克拉級的寶石鑽石。1980年代日本的Sumitomo Electric把鑽石長得更大。1990年代南非的De Beers則長出10克拉以上的鑽石。2000年代美國的Apollo Diamond及Geophysical Labs又以氣相生長出克拉級鑽石。鑽石不僅是寶石之后,更是材料之王。人類科技文明的歸宿將是進入科幻世界的鑽石時代,而其中最超越的產品即為鑽石半導體,它可成為極速電腦的芯片,死光武器的光源乃至超頻通訊的元件。但要生產鑽石半導體需先有鑽石晶圓,這樣才可在大面積生長降低成本。如何做出矽晶圓大的鑽石晶圓是材料科技的聖杯(Holy Grail)。鑽石為小原子的矽晶,矽晶為大原子的鑽石。鑽石與矽晶的構造相同,兩者性質的極端對比乃反映原子大小的差異。作者在書中建議利用原子排列的製造槓桿,以同為鑽石結構的矽晶圓為模板再漸進長出鑽石的異質磊晶。另外的方法為以時間換取空間,把晶核長成的鑽石小方塊併成面板,再回鍋高壓生長將之癒合成連續的鑽石基板。本書回溯寶石鑽石的發展歷史及商業手段,最後談及鑽石的合成方法及未來展望。作者願以此書和讀者共享鑽石的純真與絕美,並預期以人之善良在本世紀創造出完全的文明——鑽石時代。
- 林心正序(中國砂輪企業股份有限公司董事長)
- 誌謝
- 自序-我愛鑽石
- 趙郁文序(新揚管理顧問股份有限公司合夥人兼副總經理)
- 汪建民序(揚昇照明股份有限公司總經理)
- 鍾自強序(金屬工業研究中心副執行長)
- 栗愛綱序(工研院材料所副所長)
- 王錫福序(台北科技大學工程學院院長)
- 黃肇瑞序(成功大學研究發展處研發長)
- 廖運炫序(台灣大學機械工程學系教授)
- 左培倫序(清華大學動力機械工程學系教授)
- 王執明序(前台灣大學地質學研究所教授暨考試院委員)
- 徐開鴻序(台北科技大學材料及資源工程系教授)
- 陳家富序(台灣鍍膜科技協會理事長)
- 林舜天序(台灣科技大學機械系教授)
- 薛人愷序(台灣大學材料科學與工程學系副教授)
- 蔡宗亮序(國際銲接中心董事長)
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鑽石爭霸戰 第三集:鑽石碟的台美大戰
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第1章 「鑽石碟」的台美大戰
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「鑽石陣」的台灣奇蹟
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半導體的應用
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半導體的「摩爾定律」
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CMP的成本
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化學機械平坦化(CMP)
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CMP的耗材市場
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硬銲鑽石工具
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「鑽石陣」鑽石工具
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「鑽石陣」、「鑽石碟」
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以小禦大的策略聯盟
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第2章 「材料學」的法庭審判
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3M的崛起
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金錢的遊戲
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3M的「鑽石碟」
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3M的挑釁
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3M的「打打談談」
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ITC的戰役
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專家的誤導
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專家的對決
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真相的揭露
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聽審像看戲
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第3章 「侵略者」的「損兵折將」
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「中砂」的危機
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危機即轉機
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3M兵敗如山倒
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「中砂」的平反
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獵殺3M
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專利的訴訟策略
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3M的本土保衛戰
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第4章 「金力王」的「天下掃蕩」
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秦始皇的統一中國
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「鑽石陣」、「鑽石碟」的統一世界
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韓國市場的不戰而敗
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CMP的爭霸戰
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應用材料挑戰Rodel
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Rodel的驕兵輕敵
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「鑽石碟」的天下大勢
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談判的藝術
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「鑽石碟」的「神聖聯盟」
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Rodel加入ARK聯盟
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日本市場拱手讓人
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「中砂」直銷「鑽石碟」
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應用材料的原子彈
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「鑽石碟」的殺手鐧
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第5章 「MMM」的「回頭是岸」
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3M賠償宋健民及撤回控告「中砂」
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第6章 KINIK Company's News Release
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- 附錄1 DiaGrid Pad Conditioners for Chemical Mechanical Planarization
- 附錄2 The Organic Diamond Disk(ODD)for Dressing Polishing Pads of Chemical Mechanical Planarization
- 附錄3 The Fabrication of Ideal Diamond Disk(IDD) by Casting Diamond Film on Silicon Wafer
- 附錄4 CMP的超越技術-台灣主導全球半導體製造的契機
- 附錄5 多晶鑽石刨平器:拋光墊的精密修整及硬脆材料的延性切削
- 附錄6 Nanom Diamond CMP Process for Making Future Semiconductor Chips
- 附錄7 Polycrystalline Diamond(PCD)Shaving Dresser: The Ultimate Diamond Disk (UDD)for CMP Pad Conditioning
- 附錄8 W CMP with In-Situ Dressing of Metal Free Diamond Disks
- 附錄9 CMP耗材的台灣創新
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有關作者
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榮獲經濟部第十三屆科技獎的個人成就獎(前瞻技術創新獎)
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中華民國微系統暨奈米科技協會最高榮譽-卓越獎(2006年)
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中國材料科學學會-材料科技傑出貢獻獎得獎人事蹟
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中華民國微系統暨奈米科技協會-微奈米科技工業貢獻獎(2007)
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第七屆台灣工業銀行創業大賽-台政大鑽心隊奪冠 自組2億元公司
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宋健民讓中國砂輪翻身傳產股后-今周刊(2006.5.29)
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綜合目錄
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第一集:寶石鑽的世紀大戰
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第二集:金剛石的世界大戰
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- 出版地 : 臺灣
- 語言 : 繁體中文
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